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  • Ultra-high purity pressure gauge(UPG,H-pressure) - VCR1/4" Female Face Seal Swivel / EP grade-7

Ultra-high purity pressure gauge(UPG,H-pressure) - VCR1/4" Female Face Seal Swivel / EP grade-7


●全ての部品を超音波精製水処理しています。

●高純度アルゴンガスで保護された無酸素真空チャンバー内で溶接を行います。

●1X10-9Pa・m3/sまでの厳しい耐圧・気密試験に合格した製品です。

●Suitable for the high purity gas distribution system used in a semiconductor, electronic,medical,biotechnology and pharmaceutical industry


詳細

タグ

製品仕様書

 

モデル

UPG50-VP/AP-G-L/C

 

呼び径(mm)
50


圧力範囲
Item No:66007--- 0-1000~4000psi


変位(mm)
1.1~1.4


正確さ (%)
ASME 40.100-2013 GradeA


Gas path sur face finish
< 10 Ra µin (Internal)


Cleanliness
IEST-STD-CC1246 Level 100 R1
(Exceeds ASME B40. 100 Level IV)


負荷容量
Stable                         75% FS
Fluctuating pressure   66% FS
Short time                   100% FS


作業環境
Ambient Temperature   -40°C ~65°C
Medium max.               +100°C
Relative humidity         50%


温度の影響
基準温度 (20°C) を上回る温度および下回る温度での精度は、フルスケールの 10°C あたり約 ±0.4% の影響を受けます。

 

標準構成

 

繋がり
VCR1/4 インチ F オス フェイス シール スイベル
316L SS
VCR チューブと付属品
316L VAR SS (SEMI F20 UHP)
(リクエストも承ります)


フィッティング
ロアマウント(L)
センターバックマウント(C)


測定要素
Capillary tube : AISI 316L VM SS
Movement : 304 SS


ダイヤル
アルミニウム


ポインタ
アルミニウム


場合
304SS(電解研磨)



ポリカーボネート(PC)

 

PICTURE DETAILS

外観と設置寸法(MM)

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