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  • High purity (low)pressure gauge-chips and semiconductors-1/4" NPT Male/EP-3

High purity (low)pressure gauge-chips and semiconductors-1/4" NPT Male/EP-3


●모든 부품은 초음파 정제수로 처리됩니다.

●용접은 고순도 아르곤 가스로 보호되는 무산소 진공 챔버에서 수행됩니다.

●이 제품은 최대 1X10-9Pa·m³/s의 엄격한 압력 및 기밀 테스트를 통과했습니다.

●Suitable for the high purity gas distribution system used in a semiconductor, electronic,medical,biotechnology and pharmaceutical industry

 


세부

태그

제품 사양

모델

HPG50-VP/AP-4-L/C

 

공칭 직경(mm)
50


압력 범위
Item No:66003--- -30inHG~0~300psi / 0~600psi


변위(mm)
1.1~1.4


정확성 (%)
ASME 40.100-2013 등급A


Gas path sur face finish
< 32Ra µin (Internal)


Cleanliness
IEST-STD-CC1246 Level 100 R1
(Exceeds ASME B40. 100 Level IV)

 

일의 압박감

Stable                          75%   FS
Fluctuating pressure    66%   FS
Short time                    100% FS

 

근무 환경

주변 온도 -40°C ~65°C
Medium max.              +100°C
Relative humidity        50%

 

온도 영향

Accuracy at temperature above and below the reference temperature (20°C) will be effected by approximately ±0.4% per 10°C of full scale

 

표준 구성

 

연결
1/4" NPT male
316L SS
(요청시 가능)

 

장착
하단 마운트(L)
센터 백 마운트(C)


측정 요소
Bourdon tube : 316L SS
Movement : 304 SS


다이얼
알류미늄


바늘
알류미늄


사례
304 SS(전해연마)


창문
폴리카보네이트(PC)

 

PICTURE DETAILS

외관 및 설치치수(MM)

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