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  • Ultra-high purity pressure gauge(UPG,H-pressure) - VCR1/4" Female Face Seal Swivel / EP grade-7

Ultra-high purity pressure gauge(UPG,H-pressure) - VCR1/4" Female Face Seal Swivel / EP grade-7


●모든 부품은 초음파 정제수로 처리됩니다.

●용접은 고순도 아르곤 가스로 보호되는 무산소 진공 챔버에서 수행됩니다.

●이 제품은 최대 1X10-9Pa·m³/s의 엄격한 압력 및 기밀 테스트를 통과했습니다.

●Suitable for the high purity gas distribution system used in a semiconductor, electronic,medical,biotechnology and pharmaceutical industry


세부

태그

제품 사양

 

모델

UPG50-VP/AP-G-L/C

 

공칭 직경(mm)
50


압력 범위
Item No:66007--- 0-1000~4000psi


변위(mm)
1.1~1.4


정확성 (%)
ASME 40.100-2013 등급A


Gas path sur face finish
< 10 Ra µin (Internal)


Cleanliness
IEST-STD-CC1246 Level 100 R1
(Exceeds ASME B40. 100 Level IV)


적재 능력
Stable                         75% FS
Fluctuating pressure   66% FS
Short time                   100% FS


근무 환경
Ambient Temperature   -40°C ~65°C
Medium max.               +100°C
Relative humidity         50%


온도 영향
기준 온도(20°C) 이상 및 이하 온도에서의 정확도는 풀 스케일의 10°C당 약 ±0.4%의 영향을 받습니다.

 

표준 구성

 

연결
VCR1/4" Fmale 페이스 씰 스위블
316L SS
VCR 튜브 및 피팅
316L VAR SS(SEMI F20 UHP)
(요청시 가능)


장착
하단 마운트(L)
센터 백 마운트(C)


측정 요소
Capillary tube : AISI 316L VM SS
Movement : 304 SS


다이얼
알류미늄


바늘
알류미늄


사례
304 SS(전해연마)


창문
폴리카보네이트(PC)

 

PICTURE DETAILS

외관 및 설치치수(MM)

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