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Ultra-high purity pressure gauge(UPG,L-pressure) -VCR1/4" Male Face Seal Swivel / EP grade-1


●所有部件均經過超聲波純化水處理

●焊接在高純氬氣保護的無氧真空室內進行

●產品經過嚴格的壓力和氣密性測試,可達1X10-9Pa·m³/s

●適用於半導體、電子、醫療、生物技術和製藥行業的超高純氣體分配系統

 


細節

標籤

產品規格

 

模型

UPG50-VP/AP-F-L/C

 

公稱直徑(毫米)
50


壓力範圍
Item No:66001--- -30inHG~0~300psi / 0~600psi


位移(毫米)
1.1~1.4


準確性 (%)
ASME 40.100-2013 A 級


Gas path sur face finish
< 10 Ra µin (Internal)

 

Cleanliness
IEST-STD-CC1246 Level 100 R1
(Exceeds ASME B40. 100 Level IV)

 

工作壓力

Stable                                  75%  FS
Fluctuating pressure            66%  FS
Short time                           100% FS

 

工作環境

Ambient Temperature        -40°C ~65°C
Medium max.                     +100°C
Relative humidity               50%

 

溫度影響

高於和低於參考溫度 (20°C) 時的精度將受到滿量程每 10°C 約 ±0.4% 的影響

 

標準配置

 

聯繫
VCR1/4" 外螺紋面密封旋轉接頭
316L 不銹鋼
VCR 管及配件
316L VAR SS (SEMI F20 UHP)
(可根據要求提供)


配件
下安裝 (L)
中心後部安裝 (C)


測量元件
Bourdon tube : AISI 316L VM SS
Movement : 304 SS


撥號


指針


案件
304 SS(電解拋光)


窗戶
聚碳酸酯(PC)

 

PICTURE DETAILS

外觀及安裝尺寸(MM)

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