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High purity (low)pressure gauge-chips and semiconductors-1/4" NPT Male/EP-3


●所有部件均经过超声波纯化水处理

●焊接在高纯氩气保护的无氧真空室内进行

●产品经过严格的压力和气密性测试，可达1X10-9Pa·m³/s

●Suitable for the high purity gas distribution system used in a semiconductor, electronic,medical,biotechnology and pharmaceutical industry

 


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细节

标签

产品规格

模型

HPG50-VP/AP-4-L/C

 

公称直径（毫米）
50


压力范围
Item No：66003--- -30inHG~0~300psi / 0~600psi


位移（毫米）
1.1~1.4


准确性 （％）
ASME 40.100-2013 A 级


Gas path sur face finish
< 32Ra µin (Internal)


Cleanliness
IEST-STD-CC1246 Level 100 R1
(Exceeds ASME B40. 100 Level IV)

 

工作压力

Stable                          75%   FS
Fluctuating pressure    66%   FS
Short time                    100% FS

 

工作环境

环境温度-40℃~65℃
Medium max.              +100°C
Relative humidity        50%

 

温度影响

Accuracy at temperature above and below the reference temperature (20°C) will be effected by approximately ±0.4% per 10°C of full scale

 

标准配置

 

联系
1/4" NPT male
316L 不锈钢
（可根据要求提供）

 

配件
下安装 (L)
中心后部安装 (C)


测量元件
Bourdon tube : 316L SS
Movement : 304 SS


拨号
铝


指针
铝


案件
304 SS（电解抛光）


窗户
聚碳酸酯(PC)

 

PICTURE DETAILS

外观及安装尺寸(MM)

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