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Ultra-high purity pressure gauge(UPG,L-pressure) -VCR1/4" Male Face Seal Swivel / EP grade-1


●所有部件均经过超声波纯化水处理

●焊接在高纯氩气保护的无氧真空室内进行

●产品经过严格的压力和气密性测试,可达1X10-9Pa·m³/s

●适用于半导体、电子、医疗、生物技术和制药行业的超高纯气体分配系统

 


细节

标签

产品规格

 

模型

UPG50-VP/AP-F-L/C

 

公称直径(毫米)
50


压力范围
Item No:66001--- -30inHG~0~300psi / 0~600psi


位移(毫米)
1.1~1.4


准确性 (%)
ASME 40.100-2013 A 级


Gas path sur face finish
< 10 Ra µin (Internal)

 

Cleanliness
IEST-STD-CC1246 Level 100 R1
(Exceeds ASME B40. 100 Level IV)

 

工作压力

Stable                                  75%  FS
Fluctuating pressure            66%  FS
Short time                           100% FS

 

工作环境

Ambient Temperature        -40°C ~65°C
Medium max.                     +100°C
Relative humidity               50%

 

温度影响

高于和低于参考温度 (20°C) 时的精度将受到满量程每 10°C 约 ±0.4% 的影响

 

标准配置

 

联系
VCR1/4" 外螺纹面密封旋转接头
316L 不锈钢
VCR 管及配件
316L VAR SS (SEMI F20 UHP)
(可根据要求提供)


配件
下安装 (L)
中心后部安装 (C)


测量元件
Bourdon tube : AISI 316L VM SS
Movement : 304 SS


拨号


指针


案件
304 SS(电解抛光)


窗户
聚碳酸酯(PC)

 

PICTURE DETAILS

外观及安装尺寸(MM)

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